旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)+真空干燥機(jī)
作者：touchpanel時間：2013-05-15 來源：未知
[摘要]本機(jī)臺裝置于預(yù)涂布機(jī)后之連接機(jī)臺，做一連串之藥液涂布、減壓干燥之動作。
機(jī)械概述
本機(jī)臺裝置于預(yù)涂布機(jī)后之連接機(jī)臺，做一連串之藥液涂布、減壓干燥之動作。
旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)：
裝置于預(yù)涂布機(jī)后，將藥液涂布后之玻璃基板，以真空將玻璃基板吸著于SPIN之高速旋轉(zhuǎn)臺面，將藥液以薄膜狀態(tài)平均分布于玻璃基板表面。
真空干燥機(jī)：
銜接于旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)后，接續(xù)上流制程藥液涂布后之玻璃基板，將其減壓干燥。
| 各 項 規(guī) 格 表 | |
| 機(jī) 臺 尺 寸 | 旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)： 長2040mm 寬1520mm 高1855mm 真空干燥機(jī)： 長1598mm 寬1180mm 高1800mm |
| 外 觀 漆 色 | 白 鐵 色（SUS304） |
| 電 源 | 旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)： 三相 AC220V 30A 50/60HZ 真空干燥機(jī)： 三相 AC220V 40A 50/60HZ |
| 玻 璃 尺 寸 | 300 × 350mm 厚度0.4 ~ 1.1mm |
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旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)真空干燥機(jī)
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